超薄膜スクラッチ試験機

本機は旧型機です。

超薄膜スクラッチ試験機の測定傷観察

左記に、ガラス上に成膜された光学薄膜の測定Dataと測定傷の観察写真を示します。

青色のセンサ出力に急激な変化点が発生し、測定後に傷の観察を行ったところ、センサ出力の変化点で光学薄膜の剥離が確認されました。(測定グラフと顕微鏡観察の相関は距離で行います)

又、測定傷の光学観察では、剥離開始点で干渉ジワが確認され、膜が浮き上がっていることが想定されます。これにより、膜自体の強度よりも界面の密着力が低いため、界面から剥離が発生し巻くが浮いたものと想定されます。

剥離開始後、DLC膜が剥離し基材が露出しております。又測定幅よりも広く膜の剥離が確認されるのは、測定により膜の剥離が発生し、膜自体の強度が強いため、周りの膜も一緒に剥離させられてしまったためと想定されます。

触針部を励振させているため、測定傷が幅を持ち観察が容易に行えます。