超薄膜スクラッチ試験機
Oscillating Microscratch Tester CSR5100
コーティング密着成膜キズつきはがれ
μm以下の薄膜の密着強度を定量的に測定
材料表面に形成された薄膜と基材の密着強度を評価するスクラッチ法を進化させ、より薄い膜の剥離検出を実現したマイクロスクラッチ法(JIS R-3255)により膜厚がμm以下の超薄膜の密着強度評価が可能な試験機です。従来のスクラッチ試験機では、膜表面を引っかいた時の破壊点を摩擦力の変化や音響信号で検出いたしましたが、膜厚が薄くなると破壊検出が困難となります。この問題を解決するため薄膜の破壊検出に特化したマイクロスクラッチ法に加え、弊社独自の特許技術(特許5070146号)による高感度破壊検出機構を備え超薄膜の付着強度を評価いたします。
■特徴
・膜厚μm以下の超薄膜の密着強度評価が可能※膜厚10nmの測定実績有
・サンプルを加熱しての加熱環境下での評価が可能
・レンズ等の曲面測定が可能
・顕測定部位を事前に顕微鏡観察により位置設定が可能
・測定に時間を要しません(1測定1~2分程度)
・一定荷重測定における破壊有無判断により単純OK/NG評価が可能
■ 測定例(用途)
■ 測定原理
■ 測定モード
■ 製品仕様
超薄膜スクラッチ試験機の仕様
- 荷重検出機構
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- 荷重印加範囲
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1～1500mN
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- 荷重分解能
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0.3mN
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- 許容過負荷
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300%FS
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- 水平方向信号出力
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- 検出信号
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速度信号
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- 周波数レンジ
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20Hz~10kHz
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- 励振周波数
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45Hz
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- 励振振幅
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0・5・10・20・40・50・80・100μm
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- 垂直方向信号出力
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- 検出信号
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加速度信号※当社特許技術
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- 周波数レンジ
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20Hz~10kHz
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- 触針
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- 材質と形状
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ダイヤモンド(R5・10・15・25・50・100μm)
サファイア(R250・500μm)
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- Z軸駆動機構
荷重印加方向 -
- 駆動方式
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ステッピングモータ駆動
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- 駆動範囲
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20mm(手動にて＋30mmの粗動範囲有)
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- 駆動分解能数
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0.5μm
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- 駆動速度
(測定時) -
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0.1～10μm/s
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- 駆動速度
(準備時) -
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1mm/s
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- X軸駆動機構
スクラッチ方向 -
- 駆動方式
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ステッピングモータ駆動
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- 駆動範囲
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20mm
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- 駆動分解能数
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0.5μm
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- 駆動速度
(測定時) -
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0～20μm/s
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- 駆動速度
(準備時) -
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1mm/s
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- 試料台XY軸
駆動機構 -
- 駆動方式
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マイクロメータによる手動駆動
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- 駆動範囲
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±6.5mm
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- Data出力方式
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USB
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- 寸法及び重量
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W540×D520×H630(37kg)※顕微鏡Option含
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- 電源
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AC100～240V
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レオトライボテスタ
RheoTribo Tester RTT1000
粘弾性せん断性粘着力
軟質素材／ソフトマター表面の摩擦・粘弾性を含む 総合的な挙動を評価
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摺動型はく離強度試験機
Oscillation Sliding Tester OST3000
摩擦力疲労摩耗剥離強度焼き付き耐久性
疲労摩耗による界面破壊発生を評価
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フリクションプレーヤ
Friction Player FPR2200
摩擦力摩耗キズつきすべり性焼き付き耐久性
湿度環境を制御した摩耗試験が可能
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スクラッチ試験機
Scratch Tester CSR1000
コーティングクラック密着キズつきひっかき
硬質皮膜の密着強度を定量的に測定