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超薄膜スクラッチ試験機の測定例
本機は旧型機です。
GaAs上に成膜されたSiN膜の密着強度測定の試験結果
SiN膜に対しR15ミクロンのダイヤモンド圧子を接触させ、荷重を増加させながら測定(スクラッチ)してゆきます。
左記の測定では、荷重が73.7mNに達すると出力Dataに顕著な変化点が発生し、これにより膜の破壊を検出いたします。
測定条件
- 触針端形状：R15μm
- スクラッチ速度：10μm/sec
臨界剥離荷重値(測定結果)
- 73.7mN
関連試験機
- アッセンブリ工程におけるワイヤーボンディング強度を評価するプルテスター
