試験機のレスカのロゴマーク

Home>製品紹介>ボンディングテスタ・継手強度試験機>測定モード>ワイヤープルテスト

ボンディングテスタ・プルテスター

ワイヤーボンディングの各種強度を1台で評価可能なボンドテスタによる、ループ強度を測定するループプルテストを紹介いたします。

ボンディングテスタのワイヤープルテスト測定方法

準拠規格

  • MIL-STD-883G
  • IEC-60749-22
  • SEMI-G73-0997
  • EIAJ-ED-4703

熱圧着・超音波及びその他の関連技術によってボンドされたワイヤ接続の半導体デバイスにおけるパッケージ内部のワイヤとダイ間ボンド・ワイヤとフレーム間ボンド又はワイヤと端子間ボンドの強度を接続ワイヤを直接引張ることにより評価する測定方法です。

ボンディング工程におけるループ強度を評価するプルテストの測定原理図 ボンディング工程におけるループ強度を評価するにループを引っ張り上げるプルテストの原理図 ループj強度はワイヤボンディングにおいて最も弱い荷重で破断することよりもっとも評価が重要とされる試験方法であるプルテストの原理図

顕微鏡を見ながらジョイスティック操作で、荷重センサに取り付けられたフックをワイヤに引っ掛けます。フックを上昇させワイヤを破断し、その際の荷重値を計測します。又、破断した位置を観察し、下記の図に基づき、破断モードを入力することが出来ます。

ワイヤーボンディングの評価で最も信頼性の要求されるプルテストの破断箇所を説明した原理図
試験機のレスカのホームページであることを表す図