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超薄膜スクラッチ試験機の仕様
| 荷重検出機構 | 荷重印加範囲 | 1～1500mN |
|---|---|---|
| 荷重分解能 | 0.3mN | |
| 許容過負荷 | 300%FS | |
| 水平方向信号出力 | 検出信号 | 速度信号 |
| 周波数レンジ | 20Hz~10kHz | |
| 励振周波数 | 45Hz | |
| 励振振幅 | 0・5・10・20・40・50・80・100μm | |
| 垂直方向信号出力 | 検出信号 | 加速度信号※当社特許技術 |
| 周波数レンジ | 20Hz~10kHz | |
| 触針 | 材質と形状 | ダイヤモンド(R5・10・15・25・50・100μm) サファイア(R250・500μm) |
|
Z軸駆動機構 荷重印加方向 | 駆動方式 | ステッピングモータ駆動 |
| 駆動範囲 | 20mm(手動にて＋30mmの粗動範囲有) | |
| 駆動分解能数 | 0.5μm | |
| 駆動速度(測定時) | 0.1～10μm/s | |
| 駆動速度(準備時) | 1mm/s | |
|
X軸駆動機構 スクラッチ方向 | 駆動方式 | ステッピングモータ駆動 |
| 駆動範囲 | 20mm | |
| 駆動分解能数 | 0.5μm | |
| 駆動速度(測定時) | 0～20μm/s | |
| 駆動速度(準備時) | 1mm/s | |
| 試料台XY軸駆動機構 | 駆動方式 | マイクロメータによる手動駆動 |
| 駆動範囲 | ±6.5mm | |
| Data出力方式 | USB | |
| 寸法及び重量 | W540×D520×H630(37kg)※顕微鏡Option含 | |
| 電源 | AC100～240V | |
Oscillating Microscratch Tester
CSR5100
超薄膜スクラッチ試験機
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