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超薄膜スクラッチ試験機の測定例
装飾用途としても使用されますZrN(窒化ジルコニウム)膜をナノオーダの膜厚でも測定できる超薄膜スクラッチ試験機を用いて密着力を測定した評価例を紹介いたします。
※CSR02型による測定Dataです。
ZrN膜(20nm)の付着力測定の試験結果
ZrN膜に対しR15ミクロンのダイヤモンド圧子を接触させ、荷重を増加させながら測定(スクラッチ)してゆきます。
左記の測定では、荷重が152.4mNに達すると出力Dataに顕著な変化点が発生し、これにより膜の破壊を検出いたします。
測定条件
- 触針端形状：R15μm
- スクラッチ速度：10μm/sec
臨界剥離荷重値(測定結果)
- 152.4mN
